Cleanroom verwezen naar de opheffing van de deeltjes, schadelijke lucht, bacteriën en andere verontreinigingen in de lucht binnen een bepaald bereik van ruimte, en de binnentemperatuur, reinheid, binnen druk, snelheid van de luchtstroom en luchtstroom distributie, lawaai en trillingen, en controle van statische elektriciteit. Binnen een bepaald bereik van eisen, een speciaal ontworpen kamer krijgt. Dat wil zeggen, geen kwestie hoe de externe lucht omstandigheden veranderen, kan het interieur van de kamer al de eigenschappen van de handhaving van de eerder gestelde eisen zoals netheid, temperatuur, vochtigheid en druk.
De belangrijkste functie van een schone ruimte is om te controleren de reinheid, temperatuur en luchtvochtigheid van de atmosfeer dat producten (zoals silicium chips) raken, zodat het product kan worden geproduceerd en vervaardigd in een goede omgeving. Deze ruimte heet een schone kamer. Volgens de internationale praktijk, wordt het niveau van zuivering stofvrije voornamelijk geregeld door het aantal deeltjes per kubieke meter lucht die groter is dan de standaardlengte van partitionering. Met andere woorden, de zogenaamde stofvrije is niet 100% zonder een beetje stof, maar het wordt gecontroleerd in een zeer kleine hoeveelheid eenheden. Natuurlijk, de deeltjes van de stof-standaard in deze standaard zijn al klein ten opzichte van onze gemeenschappelijke stof, maar voor optische constructie, zelfs een beetje van de stof heeft een groot negatief effect, dus in de productie van optische constructie producten geen stof is een onvermijdelijke eis.
Het aantal van de fijne stofdeeltjes met een diameter van minder dan 0,3 μm per kubieke meter wordt gecontroleerd onder 3500 tot de klasse A van de internationale standaard voor het stofvrij. Op dit moment vereist de stofvrije standaard toegepast op de chip-niveau productie en verwerking meer stof dan A--kwaliteit. Dergelijke hoge normen worden voornamelijk toegepast op de productie van wat hogere chips. 0.5uM en onder het aantal fijn stof wordt strikt gecontroleerd binnen 1.000 per kubieke meter, die ook bekend staat als de industrie 1 K niveau.